摘要：本报记者 陈佳岚 广州报道去年以来，人们已经看到，光刻机是我国半导体被“卡脖子”的重要环节之一。正因如此，有关光刻机的一举一动都能成为资本市场关注的焦点。比如，有投资者5月底在互动易平台上向大族激光科技产业集团股份有限公司（以下简称“大族激...
本报记者 陈佳岚 广州报道
去年以来，人们已经看到，光刻机是我国半导体被“卡脖子”的重要环节之一。正因如此，有关光刻机的一举一动都能成为资本市场关注的焦点。
比如，有投资者5月底在互动易平台上向大族激光科技产业集团股份有限公司（以下简称“大族激光”，002008.SZ）提问：“公司的紫外激光能用到光刻机上吗？”大族激光方面回复：“公司在研光刻机项目主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，尚未实现销售。”这样的消息于6月14日被媒体扩散之后，足以带动大族激光股价在6月15日大涨7.24%。
两天之后（6月17日），大族激光方面在互动平台回答投资者提问时又透露，在研光刻机项目分辨率为3～5μm（微米），主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。截至目前，大族激光自研的光刻机尚未实现销售。此消息让懂行的投资者冷静，大族激光股价在6月17日回调1.91%。
奥秘在于，很多投资者并不了解，此光刻机非彼光刻机。光刻机由于光源波长不同其分辨率也不同，用于集成电路制造的最先进光刻机已经到5纳米，国产集成电路光刻机可做到28纳米，正在向14纳米进发。分立器件、LED等需要的光刻机线宽不需要纳米级，可能只需要微米级。半导体行业人士告诉《中国经营报》记者，所以大族激光的光刻机不可能用在集成电路制造中，精度不高，难度也并不大。
对于激光设备企业大族激光为何做起了LED光刻机，记者致电大族激光方面，其表示，这个项目目前还处于起步阶段，暂时不接受采访。
自研光刻机
大族激光是一家提供激光、机器人及自动化技术在智能制造领域的系统解决方案的高端装备制造企业，业务包括研发、生产、销售激光标记、激光切割、激光焊接设备、PCB专用设备、机器人、自动化设备及为上述业务配套的系统解决方案。公司产品主要应用于消费电子、显视面板、动力电池、PCB、机械五金、汽车船舶、航天航空、轨道交通、厨具电气等行业的金属或非金属加工。
事实上，大族激光布局光刻机的动作早有苗头，早在去年就有网友发现大族激光在招聘光刻机工作经验的人才，甚至在职位任职资格上要求有国内光刻机的龙头企业上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子装备”）从业经验的人才。
被称为现代光学工业之花的光刻机分辨率不同，其制造难度也相差甚大。以光刻机为代表的产品主要应用于四大领域：芯片制造、芯片先进封装、LED制造、下一代显示屏制造。另外还有类光刻机产品，包括激光封装、激光退火等设备。同样是光刻机，前道的产业化应用难度非常高。正因为高端光刻机的不断突破，也不断支撑着集成电路产业发展，这也使得芯片越做越小，集成的电路越来越多，终端越来越小。
光刻机最核心的部件是镜头和激光光源，而在这两项技术上，中国因起步晚，目前尚在追赶荷兰、日本等国家。目前全球能生产5纳米及以上的光刻机只有荷兰的ASML（阿斯麦尔）一家企业，ASML掌握了极紫外光源技术，可以生产7nm及5nm的芯片。目前光刻机全球梯队中，荷兰ASML排名第一，是唯一一家可以生产EUV光刻机的厂家，其次是日本的佳能、康尼等公司，也可以独立生产光刻机，但面对的市场是中低端芯片市场。佳能尼康也曾是光刻机市场的霸主，后被荷兰的ASML超越。
在欧美日光刻机市场风云变幻的数十年间，我国也在通过各种努力研制国产光刻机设备。20世纪70年代我国就开始有清华大学精密仪器系、中科院光电技术研究所、中电科四十五所等机构投入光刻机设备研制。目前，上海微电子装备的90nm光刻机仍代表着国产光刻机最高水平，而其也只占有低端光刻机市场。上海微电子装备官网显示，其目前量产的光刻机包括200系列光刻机（TFT曝光）、300系列光刻机（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻机（IC后道先进封装）、600系列光刻机（IC前道制造）。
较为低端的光刻机设备
尽管涉足光刻机产业，实际上大族激光自研的光刻机应该是较为低端的光刻机设备。
“LED领域的光刻机线宽要求相比很粗，同时它只是做单层光刻就可以了，不像我们平常所说的集成电路（IC）光刻机那样要通过多层光刻，因为集成电路光刻就像盖楼一样，盖一层光刻一层。”陕西省半导体行业协会理事长何晓宁告诉记者，相较于集成电路光刻机，LED光刻机很简单，它的线宽可能需要一个微米就差不多，更不要说纳米了，而且目前国外也不限制国内生产的这类光刻机，国外限制倾向于集成电路光刻机。
尽管大族激光研制的并非高分辨率的光刻机，但何晓宁认为，大族激光自研的光刻机，至少是光刻机国产替代进口，国产化的进程。
值得关注的是，在近段时间华为遭遇美国技术拦截，半导体进口替代需求迫切的背景下，光刻机作为制造集成电路的核心设备，也使得光刻机概念成为二级市场关注的焦点。
事实上，蹭上光刻机概念，股价就迅速拉升的例子在A股市场不算少。
6月5日，上海微电子装备发布声明称，公司在之前90nm的基础上，将在2021年至2022年交付国产第一台28nm的immersion式光刻机，虽然与当前主流荷兰的7nm芯片制备工艺还有大的差距，但也标志着国产光刻机的飞跃进步，在逐渐减少与荷兰ASML公司的差距。消息一出，资本市场迅速做出了反应，与上海微电子装备相关的企业张江高科、上海电气，在6月5日双双涨停，张江高科在6月8日开盘再次涨停。
6月11日，晶方科技在互动平台上称，荷兰光刻机制造商ASML为晶方科技参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一，股价就冲击涨停。
有媒体报道，一再声称没有参与大股东长春光机所的光刻机研发项目的奥普光电，在5月下旬收获多个涨停也因蹭上了光刻机概念。
由此可见，光刻机在二级市场的反响有多大。
而目前阶段，大族激光想做LED光刻机，上海微电子装备在这一领域市占率第一。
对于激光设备企业大族激光为何涉足LED领域的光刻机、雄心有多大，大族激光方面表示尚不方便披露更多信息。
财报显示，2019年大族激光实现营收95.63亿元，同比下降13.30%，已连续2年下降；归属于上市公司股东的净利润为6.42亿元，同比下降62.63%。对于业绩的大幅下滑，大族激光方面表示：“由于消费电子行业大客户设备需求周期性下滑及中美贸易摩擦引起的部分行业客户资本开支趋于谨慎的影响，公司订单较同期有所下降，部分客户订单存在延期交付，公司营业收入较上年度下降13.30%。”而5G通讯基础建设相关业务强势增长。
营收下降的大族激光，似乎也想要跟风分拆上市。6月1日，大族激光宣布将授权公司经营层启动分拆子公司境内上市前期筹备工作。大族激光方面表示，根据公司总体战略布局，结合深圳市大族数控科技有限公司业务发展需要，为进一步拓宽公司融资渠道，启动分拆上市筹备工作。
（编辑：李正豪 校对：颜京宁）
